1.成膜均勻性小于1%；
2. LOADLOCK 樣品傳輸系統(tǒng)；
3.獨(dú)特的進(jìn)氣設(shè)計(jì)，快速閥門相應(yīng)（<10ms）,精確控制每個(gè)循環(huán)中的進(jìn)源量，有效避免反應(yīng)源的損失；
4.反應(yīng)Gas line采用全包裹加熱式，對(duì)氣線進(jìn)行差異式控溫方式進(jìn)行加熱，管路加熱均勻；
5. ICP 遠(yuǎn)程感應(yīng)耦合等離子體系統(tǒng)；
6.原裝進(jìn)口 1000W 射頻電源；
7.高性能真空系統(tǒng)（含進(jìn)口干泵+分子泵）。